流量控制器由質量流量傳感器、熱式原件、質量流量控制器調節閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。
流量控制器主要的優點：
1、直接測量氣體的質量流量熱式質量流量計直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。
2、無可移動部分本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。
3、可以準確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
4、測量控制的自動化。
5、控制器可以準確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。
6、準確度高，重復性好準確度可達＋－1％F.S（fullscale）重復性為＋－0.25％F。S（fullscale）。
7、體積小巧，安裝方便，操作簡單。
8、技術先進，符合發展潮流。
